Introducción al análisis y diseño de MEMS
Autor:Tecpoyotl Torres, Margarita; Vargas Chablé, Pedro; Varona Salazar, Jorge; Mireles Jr. García, José; Vargas Bernal, Rafael; García Ramírez, Pedro Javier; Herrera May, Agustín Leobardo; Elvira Hernández, Ernesto Alberto